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白光干涉

白光干涉测厚原理如下图，光源发出宽谱光线经1x2光纤耦合器进入探头，探头将光线聚焦到待测样品处。待测样品上下表面发生干涉，干涉后的光信号通过探头、光纤耦合器进入到光谱仪，光谱仪获取到干涉信号，最终通过算法将干涉信号解调，得到薄膜的厚度信息。

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